環(huán)形子孔徑拼接高精度非球面檢測技術(shù)研究.pdf

1、隨著光學(xué)精密加工的發(fā)展，非球面已經(jīng)越來越廣泛地應(yīng)用于各種光學(xué)系統(tǒng)中，非球面檢測方法的局限性越來越成為制約非球面發(fā)展的重要因素之一。本文所研究的環(huán)形子孔徑拼接技術(shù)是一種無需輔助元件就能檢測旋轉(zhuǎn)對(duì)稱非球面的高精度檢測技術(shù)，該技術(shù)降低了檢驗(yàn)成本，同時(shí)可以消除輔助元件的設(shè)計(jì)、制造和調(diào)整誤差對(duì)最終檢測精度的影響。
　　本文介紹了非球面的相關(guān)光學(xué)性質(zhì)，介紹了目前常用的非球面檢測方法，重點(diǎn)討論了環(huán)形子孔徑拼接的檢測原理和實(shí)驗(yàn)方法，詳細(xì)講述了環(huán)形

2、子孔徑算法，并對(duì)拼接算法進(jìn)行了仿真驗(yàn)證。接著，本文又針對(duì)不同的拼接參數(shù)進(jìn)行進(jìn)一步的仿真，在仿真設(shè)計(jì)模型中對(duì)子孔徑重疊區(qū)域大小及部分參數(shù)解算精度等因素進(jìn)行了分析，從而能更好的指導(dǎo)實(shí)際實(shí)驗(yàn)中數(shù)據(jù)的處理。最后本文利用Zygo干涉儀對(duì)一個(gè)口徑為108毫米的二次拋物面進(jìn)行了環(huán)帶子孔徑拼接檢測實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果PV值和已知的參考結(jié)果相比相差約1.89％，RMS值相差約1.09％，拼接面形輪廓和參考結(jié)果較為一致，這進(jìn)一步驗(yàn)證了環(huán)形子孔徑拼接算法的可行性。