高精度球面絕對(duì)測(cè)量及參考鏡校準(zhǔn)技術(shù)研究.pdf

1、隨著光學(xué)行業(yè)以及高分辨率的投影光刻系統(tǒng)、遙感等技術(shù)的發(fā)展，對(duì)光學(xué)元件表面面形地檢測(cè)精度，特別是高精度球面面形檢測(cè)精度要求越來越高。球面面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)可以去除干涉系統(tǒng)中參考面面形誤差，提高了被檢球面面形的檢測(cè)精度，而成為一種有效的高精度的球面面形檢測(cè)方法。論文以基于球面移相菲索干涉系統(tǒng)的三位置兩球面面形絕對(duì)檢測(cè)方法的原理分析為中心，討論分析了兩位置兩球面面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)及五位置兩球面面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)。
　　 對(duì)于高精度的球面面形

2、檢測(cè)，誤差是影響檢測(cè)結(jié)果的重復(fù)性及精度的重要因素。因此本文分類深入討論分析了影響測(cè)量結(jié)果重復(fù)性及精度的PZT誤差，球面幾何面型引起的誤差，CCD誤差，以其三者的綜合誤差，標(biāo)準(zhǔn)鏡頭非線性誤差，干涉儀光源誤差、環(huán)境誤差、裝調(diào)機(jī)構(gòu)隨機(jī)誤差。在各項(xiàng)誤差分析的基礎(chǔ)上，探討了各項(xiàng)誤差與干涉儀結(jié)構(gòu)參數(shù)的關(guān)系及減小誤差的準(zhǔn)則和方法。
　　 設(shè)計(jì)并分析了三位置兩球面和五位置兩球面面形絕對(duì)測(cè)量的重復(fù)性及測(cè)量精度實(shí)驗(yàn)、三位置兩球面貓眼位置重復(fù)性實(shí)驗(yàn)、