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文檔簡介
1、精密定位技術(shù)既是一項(xiàng)高新技術(shù),也是一項(xiàng)與許多生產(chǎn)實(shí)踐密切相關(guān)的基礎(chǔ)技術(shù),它在半導(dǎo)體器件制造、精密加工、電子產(chǎn)品組裝生產(chǎn)線、高清晰顯示器件制作及納米技術(shù)研究開發(fā)等領(lǐng)域具有較廣泛的應(yīng)用前景.該課題在此背景下,對精密定位工作開展研究,內(nèi)容涉及激光精密檢測系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制與仿真、精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及其驅(qū)動(dòng)、優(yōu)化控制方法等.我們構(gòu)建了一個(gè)精密定位實(shí)驗(yàn)臺,采用步進(jìn)電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)器,使用細(xì)分技術(shù)及差動(dòng)莫爾技術(shù)來實(shí)現(xiàn)光柵的粗、精兩級驅(qū)動(dòng)定位,利用工控機(jī)、He-
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