微磨削機(jī)理的試驗(yàn)研究.pdf

1、微小型元器件由于有著體積和質(zhì)量微小、能耗較低、移植性和替代性好以及材料成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)，從而在許多行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用，因此越來(lái)越多關(guān)于微小件的制造技術(shù)和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)技術(shù)被人們所重視和研究。在微制造領(lǐng)域內(nèi)，微磨削加工技術(shù)被看作是在傳統(tǒng)磨削技術(shù)的基礎(chǔ)上創(chuàng)造的一種新型微制造技術(shù)。然而，目前關(guān)于微磨削機(jī)理及其相關(guān)試驗(yàn)的研究相對(duì)較少，通過(guò)對(duì)微磨削機(jī)理及相關(guān)試驗(yàn)的研究對(duì)于理解微制造中的尺寸效應(yīng)、被加工工件的表面質(zhì)量和微磨削工藝有著相當(dāng)重要的現(xiàn)實(shí)指導(dǎo)意

2、義，從而可以對(duì)微磨削技術(shù)進(jìn)行工藝優(yōu)化與控制，最后應(yīng)用于生產(chǎn)實(shí)踐。
　　本文主要針對(duì)微磨削機(jī)理、微磨削機(jī)床系統(tǒng)及試驗(yàn)準(zhǔn)備和微磨削工件的試驗(yàn)情況進(jìn)行了若干探索性的研究，具體說(shuō)明如下:
　　首先，在廣泛了解國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀的前提下，對(duì)微磨削過(guò)程中的微磨削力模型進(jìn)行了簡(jiǎn)要的概括，結(jié)合MSG應(yīng)變梯度理論修正了微磨削下的本構(gòu)模型，并且概括分析了微磨削相關(guān)理論公式及其適用范圍。
　　其次，對(duì)微磨削機(jī)床試驗(yàn)系統(tǒng)的外部硬件進(jìn)行了一些補(bǔ)充和

3、完善，包括基于兩個(gè)直流電磁閥的主軸氣路和靜壓軸承氣路控制的電路系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及外圍氣路的選擇布置，還有采用兩種上砂方法電鍍制備微磨棒的理論與試驗(yàn)研究。
　　然后，采用二次回歸正交旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)了19組微磨削鈦合金試驗(yàn)，并結(jié)合響應(yīng)曲面法(RSM)，分析了主軸轉(zhuǎn)速、進(jìn)給速度、磨削深度對(duì)表面粗糙度的影響規(guī)律，為優(yōu)化微磨削參數(shù)和控制表面質(zhì)量提供了依據(jù)，為后續(xù)的應(yīng)用提供了一定的指導(dǎo)。
　　最后，對(duì)微磨削光學(xué)玻璃試驗(yàn)簡(jiǎn)要分析了彈性回復(fù)