有機薄膜光電特性在線測量方法的研究.pdf

1、隨著有機薄膜電子器件的快速發(fā)展，有機半導(dǎo)體薄膜材料特性的研究成為近年來材料和電子研究的熱門。研究表明，薄膜的結(jié)構(gòu)以及表面形貌影響薄膜的電學(xué)特性。因此，為研究有機薄膜光學(xué)特性和電學(xué)特性的聯(lián)系，本文在現(xiàn)有光學(xué)測量系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，對電學(xué)測量系統(tǒng)以及樣品進行了改進，提出了光電聯(lián)合測量方案，實現(xiàn)了真空環(huán)境下有機薄膜光電特性的在線測量。
　　本文的主要內(nèi)容如下：
　　1、研究了有機薄膜的光電特性以及其導(dǎo)電機理，分析、對比現(xiàn)有的有機薄膜光電

2、特性的測量方法。根據(jù)薄膜表面形貌實時監(jiān)測和電學(xué)特性實時測量的需求，設(shè)計了光學(xué)測量系統(tǒng)和可控電學(xué)測量系統(tǒng)結(jié)合的光電聯(lián)合測量方案。
　　2、研究了有機薄膜電學(xué)特性場效應(yīng)晶體管測量法的原理，設(shè)計并制作了電學(xué)測量系統(tǒng)，包括離線測量和在線測量。該測量系統(tǒng)可實現(xiàn)測量模式（包括定值、定時和循環(huán)等）的實時切換。在原有的光學(xué)測量系統(tǒng)光路中加入了校準光路，通過實時校準減小光譜信號的漂移。
　　3、研究了有機薄膜特性測量所需樣品的結(jié)構(gòu)特點，設(shè)計了

3、具有梳齒狀的樣品結(jié)構(gòu)。實驗表明，該結(jié)構(gòu)滿足了測試需求，取得了較好的結(jié)果。
　　4、針對本文的測量系統(tǒng)進行性能測試，得出其電壓范圍為?0.2V~?60V，測量電流精度為100 pA，滿足了有機薄膜的測量需求（電壓±30 V，電流μA級）。利用該系統(tǒng)進行了離線和在線樣品的測試。根據(jù)測得的電學(xué)信號，得到了樣品的特性曲線和載流子遷移率等有機薄膜的電學(xué)特性參數(shù)。根據(jù)測得的光學(xué)信號，分不同區(qū)域進行分析，得到了有機薄膜的生長信息。同時測試了加電