直線導軌多自由度幾何誤差同時測量中誤差分析與補償方法的研究.pdf

1、直線導軌是機械制造業(yè)中，精密與超精密設(shè)備的關(guān)鍵部件。直線導軌的精確度將直接影響著設(shè)備的加工精度，對其精度進行精密檢測尤為重要。傳統(tǒng)測量方法中的單參數(shù)測量費時費力，因此需對多自由度誤差同時測量進行研究。而多自由度誤差同時測量中，各誤差項之間不可避免的存在誤差串擾，這對測量結(jié)果有著十分大的影響，也成為了多自由度誤差同時測量中亟待解決的重要問題。
　　本論文研究了基于雙光束基準的除位置誤差外的五自由度幾何誤差同時測量系統(tǒng)，本系統(tǒng)使用氦氖

2、激光器作為光源，各項誤差的測量敏感元件分別為角錐棱鏡與反射鏡，所選用的探測器為位置敏感探測器與四象限探測器。本文的重點工作為對該系統(tǒng)同時測量中產(chǎn)生的誤差串擾進行了分析與補償。本系統(tǒng)中的誤差串擾包括偏擺角對水平方向直線度的串擾，俯仰角對豎直方向直線度的串擾，滾轉(zhuǎn)角對水平與豎直方向直線度的串擾，以及滾轉(zhuǎn)角真實值與其測量值之間的函數(shù)關(guān)系。上述誤差均可通過誤差補償模型進行補償并將其消除，在未對系統(tǒng)進行更加復雜設(shè)計的條件下，大幅提高了系統(tǒng)的測量精