基于工業(yè)以太網(wǎng)的PECVD系統(tǒng)的設(shè)計與開發(fā).pdf

1、國際市場上，基于工業(yè)以太網(wǎng)而開發(fā)和應用的針對高端大型設(shè)備的自動化控制系統(tǒng)越來越多，尤其是在大型醫(yī)療設(shè)備，大型太陽能生產(chǎn)設(shè)備，及各種大型工業(yè)控制系統(tǒng)（電力燃氣控制、電站機組控制等等）得到廣泛的應用。工業(yè)以太網(wǎng)作為他們的首選，加上西門子PLC具有相當完善的設(shè)計和非常穩(wěn)定的性能。對于企業(yè)，對于社會，研究PECVD設(shè)備及其軟件控制，主要是通過引進新技術(shù)和新的生產(chǎn)體系的建立，實現(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)與控制的流程化、工程化。企業(yè)競爭力的體現(xiàn)主要是技術(shù)創(chuàng)新、服務

2、創(chuàng)新、企業(yè)內(nèi)部產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整與升級，使PECVD設(shè)備能在原有的基礎(chǔ)上得到更大的擴展與提升。
　　本文對PECVD系統(tǒng)的PLC程序的設(shè)計進行了詳細敘述。研究過程中完成控制電柜的電路圖設(shè)計，完成WinCC觸摸屏軟件的設(shè)計，完成系統(tǒng)各驅(qū)動器的參數(shù)設(shè)置及工業(yè)以太網(wǎng)設(shè)計，以及網(wǎng)絡圖繪制。著重分析了西門子PLC與PECVD中的Compax3伺服驅(qū)動器底層驅(qū)動程序編程與設(shè)計、PECVD設(shè)備系統(tǒng)的硬件配置與初始化、伺服電機保存參數(shù)程序設(shè)計、人機界面