基于工業(yè)以太網(wǎng)的PECVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā).pdf

1、國(guó)際市場(chǎng)上，基于工業(yè)以太網(wǎng)而開(kāi)發(fā)和應(yīng)用的針對(duì)高端大型設(shè)備的自動(dòng)化控制系統(tǒng)越來(lái)越多，尤其是在大型醫(yī)療設(shè)備，大型太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備，及各種大型工業(yè)控制系統(tǒng)（電力燃?xì)饪刂?、電站機(jī)組控制等等）得到廣泛的應(yīng)用。工業(yè)以太網(wǎng)作為他們的首選，加上西門子PLC具有相當(dāng)完善的設(shè)計(jì)和非常穩(wěn)定的性能。對(duì)于企業(yè)，對(duì)于社會(huì)，研究PECVD設(shè)備及其軟件控制，主要是通過(guò)引進(jìn)新技術(shù)和新的生產(chǎn)體系的建立，實(shí)現(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)與控制的流程化、工程化。企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的體現(xiàn)主要是技術(shù)創(chuàng)新、服務(wù)

2、創(chuàng)新、企業(yè)內(nèi)部產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整與升級(jí)，使PECVD設(shè)備能在原有的基礎(chǔ)上得到更大的擴(kuò)展與提升。
　　本文對(duì)PECVD系統(tǒng)的PLC程序的設(shè)計(jì)進(jìn)行了詳細(xì)敘述。研究過(guò)程中完成控制電柜的電路圖設(shè)計(jì)，完成WinCC觸摸屏軟件的設(shè)計(jì)，完成系統(tǒng)各驅(qū)動(dòng)器的參數(shù)設(shè)置及工業(yè)以太網(wǎng)設(shè)計(jì)，以及網(wǎng)絡(luò)圖繪制。著重分析了西門子PLC與PECVD中的Compax3伺服驅(qū)動(dòng)器底層驅(qū)動(dòng)程序編程與設(shè)計(jì)、PECVD設(shè)備系統(tǒng)的硬件配置與初始化、伺服電機(jī)保存參數(shù)程序設(shè)計(jì)、人機(jī)界面