聚酰亞胺基熱敏元件制備與性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著技術(shù)的發(fā)展,薄膜熱電偶傳感器已經(jīng)被應(yīng)用在生活中的各個領(lǐng)域,在此基礎(chǔ)上本文研究一種聚酰亞胺基熱敏元件,給出其結(jié)構(gòu)設(shè)計與原理,并對傳感器的設(shè)計進(jìn)行ANSYS有限元分析,考察聚酰亞胺基底厚度、熱導(dǎo)率和金屬電極的結(jié)構(gòu)、厚度對傳感器的熱學(xué)性能及熱電性能的影響,從而得到最佳的設(shè)計方案。
  本文采用電子束蒸發(fā)的方式在聚酰亞胺基底上制備熱電偶,并用掃描電子顯微鏡對聚酰亞胺基底、銅薄膜及鎳薄膜的平整性進(jìn)行檢測,確保其表面連續(xù)好、無開裂,厚度均

2、勻;用臺階儀測量銅、鎳薄膜的厚度。隨后用Ⅰ級精度的E型標(biāo)準(zhǔn)熱電偶對聚酰亞胺基Cu/Ni薄膜熱電偶進(jìn)行標(biāo)定,使用Origin8軟件處理數(shù)據(jù)并得到擬合直線,實驗結(jié)果證明制備的聚酰亞胺基熱電偶傳感器的測量值與理論值基本一致。同時進(jìn)一步對聚酰亞胺基溫度傳感器的線性度、遲滯性、穩(wěn)定性和靈敏度進(jìn)行測試,實驗結(jié)果表明該傳感器在-20℃~200℃范圍內(nèi)具有線性度高、遲滯小、穩(wěn)定性好、靈敏度高的特點(diǎn),因此可以將該傳感器應(yīng)用于測量溫度。本文用該傳感器對鋰電

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