基于DSP的超聲原子力顯微系統(tǒng)的開發(fā)與應(yīng)用.pdf

1、近年來隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展，觀察、測(cè)量以及操縱納米尺度的物體逐漸成為熱門的研究領(lǐng)域，用來分析和操作納米世界的工具經(jīng)過了漫長的發(fā)展探索。超聲原子力顯微鏡(UAFM)技術(shù)結(jié)合原子力顯微鏡與超聲方法，驅(qū)動(dòng)AFM探針的懸臂梁做超聲振動(dòng)，接觸過程中精確測(cè)量針尖-樣品接觸諧振頻率的改變，以此表征或計(jì)算出樣品表面局部機(jī)械性質(zhì)，實(shí)現(xiàn)在納米或亞納米尺度材料的彈性性能的無損檢測(cè)。傳統(tǒng)UAFM工作在接觸模式下時(shí)具有接觸力較大、易損傷樣品的缺點(diǎn)，本文通過對(duì)新

2、型自感應(yīng)音叉探針施加雙頻激勵(lì)，使得UAFM工作在輕敲模式，減小接觸力和掃描過程中的側(cè)向力影響，實(shí)現(xiàn)樣品表面力學(xué)特性和亞表面結(jié)構(gòu)的表征。
　　本文基于原子力顯微鏡設(shè)計(jì)思想，將新型音叉探針與納米壓電位移平臺(tái)相結(jié)合，搭建了雙頻激勵(lì)超聲原子力顯微測(cè)試系統(tǒng)，并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證測(cè)量方案的可行性。論文主要內(nèi)容包括：
　　1)介紹UAFM工作原理。通過分析針尖-樣品接觸模型，研究傳統(tǒng)UAFM定量測(cè)量楊氏模量的原理，分析超聲原子力顯微技術(shù)應(yīng)用于輕

3、敲模式下的可行性。
　　2)介紹了新型音叉探針的基本原理。將新型音叉探針應(yīng)用于超聲原子力系統(tǒng)中，通過實(shí)驗(yàn)排除單頻測(cè)量系統(tǒng)的可行性，在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)雙頻激勵(lì)系統(tǒng)方案。
　　3)研究以FFT為基礎(chǔ)的頻率分離及頻譜細(xì)化算法，設(shè)計(jì)并制作DSP為核心的頻譜分析模塊，實(shí)現(xiàn)頻率測(cè)量，結(jié)合實(shí)驗(yàn)情況，改進(jìn)和優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
　　4)以鎖相環(huán)和濾波器為基礎(chǔ)改進(jìn)雙頻超聲原子力顯微測(cè)試系統(tǒng)方案，完成探針信號(hào)合成、分離等電路設(shè)計(jì)和制作，設(shè)計(jì)并搭建雙