高頻等離子沉積工藝控制系統(tǒng)優(yōu)化研究.pdf

1、當(dāng)今社會(huì)信息技術(shù)的快速發(fā)展，促進(jìn)了我國(guó)光纖及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時(shí)對(duì)光纖制造所需的主要原材料——石英玻璃材料的性能指標(biāo)和生產(chǎn)效率提出了更高要求，但長(zhǎng)期以來受工藝過程復(fù)雜和現(xiàn)場(chǎng)裝備智能化程度低等諸多因素的影響，其工藝生產(chǎn)控制系統(tǒng)主要依靠操作人員的經(jīng)驗(yàn)調(diào)節(jié)，采用半自動(dòng)甚至手動(dòng)方式運(yùn)行，該控制方式降低了石英玻璃的性能指標(biāo)和生產(chǎn)效率。
　　本文在分析了高頻等離子沉積工藝控制系統(tǒng)現(xiàn)狀后，利用工業(yè)以太網(wǎng)控制技術(shù)對(duì)工藝控制系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì);并根

2、據(jù)新系統(tǒng)的要求對(duì)控制系統(tǒng)所涉及的硬件設(shè)備進(jìn)行升級(jí)、選型和組網(wǎng)連接調(diào)試;對(duì)系統(tǒng)所需的設(shè)備控制程序、人機(jī)交互程序及上位機(jī)程序進(jìn)行編譯和調(diào)試;同時(shí)初步建立了沉積工藝數(shù)學(xué)模型，開展工藝控制策略的研究。
　　控制系統(tǒng)優(yōu)化改造完成后，實(shí)現(xiàn)了全工藝在線精確檢測(cè);控制系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)化、數(shù)字化通訊;控制器與上位機(jī)的遠(yuǎn)程通信，遠(yuǎn)端操作和工藝參數(shù)的數(shù)據(jù)收集、記錄存儲(chǔ)功能。經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行驗(yàn)證，系統(tǒng)的控制精度和運(yùn)行穩(wěn)定性大大提高，提升了高頻等離子沉積工藝自動(dòng)化水平，