聚焦激光束自混合干涉現(xiàn)象及在角度測量中的應(yīng)用.pdf

1、自混合干涉(self-mixing interference,簡稱SMI)是指當(dāng)激光器的出射光經(jīng)過外部物體反射回激光器內(nèi)部，與激光器內(nèi)部光發(fā)生干涉所引起的現(xiàn)象。與傳統(tǒng)的干涉儀光路復(fù)雜、體積龐大等特點相比較，基于激光自混合干涉原理的測量系統(tǒng)僅有一個光路通道，因此具有結(jié)構(gòu)緊湊、簡單、易準(zhǔn)直等優(yōu)點。
　　利用激光自混合干涉測量外部反射物的角度變化時，根據(jù)外部反射物體與激光器之間的相對位置關(guān)系，就可計算出外部反射物體角度的變化值，從而達(dá)到

2、角度測量的目的。但已有的激光自混合干涉角度測量受限于激光器出光口的幾何大小，角度測量范圍大受限制。
　　本文研究觀察了聚焦激光束自混合干涉現(xiàn)象，根據(jù)聚焦激光束自混合干涉現(xiàn)象的特點，測量了顯微物鏡焦距，并提出了一種基于聚焦激光束自混合干涉現(xiàn)象進(jìn)行的微角度測量方法，可大幅提高自混合干涉角度測量的范圍。
　　本文建立聚焦激光束自混合干涉角度測量模型，并搭建相關(guān)實驗系統(tǒng)。實驗證實聚焦激光束自混合干涉角度測量技術(shù)精度可達(dá)10-4度，并