聚合物超聲波壓印成形工藝及優(yōu)化.pdf

1、在聚合物微結(jié)構(gòu)加工領(lǐng)域，超聲波壓印成形技術(shù)作為一種比較新的加工微結(jié)構(gòu)的技術(shù)，相對于傳統(tǒng)的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)的優(yōu)勢有很多，例如，清潔環(huán)保、節(jié)約資源、操作簡單等優(yōu)點。綜合考慮，該成形技術(shù)對我國建設環(huán)境友好型的社會有著很大的推動作用。目前，超聲波技術(shù)已經(jīng)被廣泛的應用于工業(yè)、電氣、航空航天、產(chǎn)品包裝、微小器件的生產(chǎn)等領(lǐng)域。但是，超聲波技術(shù)在聚合物微器件成形領(lǐng)域的應用仍處于實驗室研究階段，可控性的好壞、工藝窗口的大小、成形均勻性、氣泡缺陷等問題的研究

2、尚不明確。
　　由于超聲波壓印技術(shù)的實驗可控性和工藝窗口的寬窄問題尚不明確，本論文在目前已有的超聲波壓印技術(shù)的基礎(chǔ)上，以能量模式為依托，進行不同控制模式之間的成形結(jié)果對比，并進行結(jié)果分析，探討不同控制模式對超聲波壓印成形工藝窗口寬窄的影響，并設計了一組測溫對比實驗，得出了較好的控制模式。
　　在不同控制模式的超聲波壓印實驗結(jié)果的基礎(chǔ)上，討論了超聲波壓印實驗后聚合物表面均勻性的問題，進一步對比分析了不同控制模式下，超聲波壓印成

3、形結(jié)果的質(zhì)量問題，并得出在能量850J和950J左右時的超聲壓印實驗中，時間控制模式下的焊頭-基片接觸區(qū)域非成形區(qū)和成形區(qū)的均勻性均較好。
　　在干法刻蝕工藝下，我們針對不同微結(jié)構(gòu)的超聲波壓印實驗結(jié)果進行分析。詳述了干法刻蝕工藝下，硅模具的制作流程和刻蝕結(jié)果。并根據(jù)超聲實驗后基片脫模困難的問題，在干法刻蝕后的模具上制作一層脫模劑，保證聚合物基片在模具上的順利脫模。通過有限元仿真平臺對微結(jié)構(gòu)進行應力分布分析，為干法刻蝕工藝下的對比微