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1、努豢弩謄078密緩t公開摹盛褥降耄1泓22學(xué)鼉l2010220909碩士學(xué)位論文ThesisforMasterDegree(專避攀毽)論文藤鞫;工藝參數(shù)對(duì)硅單晶直拉過程影響的數(shù)值模擬研究NumericalSimulationontheProcessParametersEffectontheCzochralskiProcessofSingleCrystalSilicon囂者簸名培蓁摹整材料科學(xué)與工程學(xué)院專照名籜材料工程觜簿教麟龠棒譬薄20
2、14年1o月20弱山東大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄摘要iABSTRACTiii第一章緒論111課題背景、目的及意義112硅及硅單晶生長(zhǎng)過程2121硅的物理、化學(xué)及其半導(dǎo)體性質(zhì)2122硅單晶生長(zhǎng)及其關(guān)鍵技術(shù)3123硅單晶制備設(shè)備413硅單晶中的微缺陷514硅單晶生長(zhǎng)數(shù)值模擬現(xiàn)狀615本文研究?jī)?nèi)容7第二章有限元模型及CGSim軟件921數(shù)值模擬方法及其物理模型9211計(jì)算機(jī)仿真9212數(shù)值模擬方法的選擇9213物理模型及其簡(jiǎn)化1022方程離散化及有
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