疊堆型壓電陶瓷特性測(cè)試及建模.pdf

1、隨著高科技領(lǐng)域迅猛發(fā)展以及相應(yīng)市場(chǎng)的快速增長(zhǎng)，對(duì)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)、傳感以及控制的精度要求越來越高。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器較其他驅(qū)動(dòng)器有著定位精度高、剛性硬度大、響應(yīng)速度快的優(yōu)勢(shì)，故被廣泛應(yīng)用在各個(gè)領(lǐng)域進(jìn)行精密定位。由于它具有微納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度特點(diǎn)，所以在超精密加工和微納制造方面有著越來越廣闊的應(yīng)用價(jià)值，也對(duì)該領(lǐng)域的發(fā)展起到了至關(guān)重要的作用。但壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器又存在遲滯等非線性特性直接影響整個(gè)平臺(tái)的性能，同時(shí)也加大了精密控制平臺(tái)的難度。本文主要針對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)

2、器的輸出特性進(jìn)行研究，建立了遲滯模型，并且針對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)器以及橋式柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)進(jìn)行了耦合建模。為補(bǔ)償壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器微位移系統(tǒng)的遲滯特性奠定了理論基礎(chǔ)。
　　為了分析壓電驅(qū)動(dòng)器的特性以及模型驗(yàn)證，進(jìn)行了壓電微位移系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)設(shè)計(jì)搭建以及測(cè)試，對(duì)于輸入電壓幅值、頻率和波形變化對(duì)位移輸出的影響進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，并且對(duì)于力負(fù)載對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)器的位移輸出的影響進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。
　　通過數(shù)學(xué)公式和圖示的表達(dá)對(duì)于經(jīng)典的Preisach模型進(jìn)行了描述，