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文檔簡介
1、本文通過傳統(tǒng)的固相燒結(jié)法制備了一系列可低溫燒結(jié)的微波介質(zhì)陶瓷BaMV2O7(M=Mg,Zn)、LiMVO4(M=Mg,Zn)、Li2M2W3O12(M=Mg,Zn)和Li2W2O7,對其進行了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、顯微結(jié)構(gòu)和微波介電性能的分析,研究了性能與結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系,并初步探討了這些材料作為LTCC基質(zhì)候選材料的應(yīng)用可能。
?。?)在BaMV2O7(M=Mg,Zn)體系中,通過固相合成法制備了BaMgV2O7和BaZnV2O7陶瓷材料
2、。其中,830℃溫度燒結(jié)時BaMgV2O7陶瓷最致密,并獲得εr~8.2,Q×f~37600 GHz,τf~-35.2 ppm/℃的優(yōu)越微波介電性能;與BaMgV2O7相比,BaZnV2O7陶瓷具有更低最佳燒結(jié)溫度(720℃)和高的相對密度(95.6%)。同時,在720℃燒結(jié)可獲得εr~10.7,Q×f~31000 GHz,τf~-64.4 ppm/℃的良好微波介電性能。
?。?)高相對密度和優(yōu)越微波介電性能的LiMVO4(M=
3、Mg,Zn)陶瓷可以在720℃燒結(jié)獲得:LiMgVO4,96.6%,εr為9.89,Q×f值為30800 GHz,τf值為-181 ppm/℃;LiZnVO4,94.9%,εr為7.15,Q×f值為17600 GHz,τf值為-114 ppm/℃。
?。?) Li2Mg2W3O12陶瓷在720 ℃溫度燒結(jié)時具有:εr為8.36,Q×f值為56700 GHz,τf值為-72.8 ppm/℃的最佳微波介電性能。低的燒結(jié)溫度和良好的微
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