LED生長(zhǎng)的在線測(cè)溫系統(tǒng)研制.pdf

1、十二五國(guó)家半導(dǎo)體照明計(jì)劃，極大的推進(jìn)了金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition，簡(jiǎn)稱MOCVD)的引進(jìn)以及本土化的開(kāi)發(fā)。MOCVD是基于GaN基LED外延材料與芯片生長(zhǎng)的一種工藝制造方法。其中工藝溫度的精確控制決定了芯片生長(zhǎng)的性能重要因素，由于工藝生長(zhǎng)環(huán)境復(fù)雜多變，且需非接觸LED測(cè)溫，這導(dǎo)致MOCVD溫控成為業(yè)界一直尚未完全攻克的難題。目前工藝測(cè)溫技術(shù)基本被國(guó)外掌握，國(guó)

2、內(nèi)此領(lǐng)域產(chǎn)品處于空白狀態(tài)，國(guó)外相關(guān)產(chǎn)品價(jià)格奇高且指標(biāo)未能符合全自動(dòng)溫控要求。業(yè)界測(cè)溫儀都是根據(jù)設(shè)備定制的，這也限制MOCVD產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)，目前業(yè)界MOCVD工藝溫度基本依賴于工藝工程師經(jīng)驗(yàn)，極大阻礙了MOCVD的推進(jìn)，為了克服此工藝測(cè)溫的難題，此課題特此立項(xiàng)。
　　本論文從黑體輻射理論出發(fā)，目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)LED生長(zhǎng)時(shí)的實(shí)時(shí)在線測(cè)溫并作為控溫依據(jù)。論文主要工作如下:
　　(1)在分析黑體輻射理論的基礎(chǔ)上，采集并分析工藝數(shù)據(jù)，課題的

3、目標(biāo)以及所面臨的難題;結(jié)合實(shí)際控溫需求提出在線控溫的解決方案，雙通道單雙波長(zhǎng)結(jié)合控溫。同時(shí)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)的光路和機(jī)械結(jié)構(gòu)部分。
　　(2)根據(jù)黑體理論推導(dǎo)出單雙波長(zhǎng)測(cè)溫算法，提出了單波長(zhǎng)測(cè)溫的修正算法，避免安裝方式（高度，以及中心偏移）對(duì)測(cè)溫的影響，為系統(tǒng)準(zhǔn)確測(cè)溫提供保障。
　　(3)硬件設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了雙通道兼容單雙波長(zhǎng)測(cè)溫的設(shè)計(jì)方案，簡(jiǎn)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
　　(4)實(shí)際考察了MOCVD的結(jié)構(gòu)以及生長(zhǎng)過(guò)程中的一些參數(shù)，定義軟件時(shí)序