WO3準(zhǔn)一維納米結(jié)構(gòu)H2S氣敏性能研究.pdf

1、WO3氣體傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)時(shí)間短、壽命長(zhǎng)和寬工作溫度范圍等優(yōu)點(diǎn)，在有毒氣體或易燃?xì)怏w監(jiān)測(cè)方面得到了廣泛的商業(yè)應(yīng)用，但在室溫下對(duì)有毒、易燃?xì)怏w實(shí)現(xiàn)高靈敏度探測(cè)依然存在挑戰(zhàn)。本文中，我們利用電學(xué)性能測(cè)試表征室溫下H2S氣體分子在WO3準(zhǔn)一維納米結(jié)構(gòu)表面的吸附過(guò)程，期望深入理解室溫下氣體傳感機(jī)理。
　　通過(guò)簡(jiǎn)單的水熱法，實(shí)現(xiàn)WO3準(zhǔn)一維納米結(jié)構(gòu)可控制備，獲得單分散性好的WO3納米線。利用深紫外光刻技術(shù)，構(gòu)筑了基于單根WO3納米線

2、的“金屬/WO3納米線/金屬”電阻型傳感器件。室溫下分別測(cè)試了傳感器件在大氣環(huán)境中和H2S氣體中的電輸運(yùn)性能。H2S氣氛中，器件的電導(dǎo)呈線性增加，同時(shí)出現(xiàn)了電學(xué)回滯現(xiàn)象。此外，H2S吸附后WO3納米線和Au電極之間的接觸由初始的歐姆（肖特基）接觸轉(zhuǎn)換為肖特基（歐姆）接觸。結(jié)果表明，H2S分子吸附可使先前吸附和電離的O2和H2O脫吸附，釋放或吸附電子，導(dǎo)致WO3/電極界面處勢(shì)壘高度變化。H2S分子在WO3納米線的表面還可以分離成氫離子和硫