三氧化鎢一維納米結(jié)構(gòu)氣敏性能研究.pdf

1、人類在創(chuàng)造文明的同時(shí)，也在破壞生態(tài)環(huán)境。工業(yè)廢氣、汽車尾氣、家庭使用的液化石油氣、天然氣、煤氣等有毒性及可燃性氣體不僅嚴(yán)重污染了環(huán)境，同時(shí)也危害著人類的健康與安全。因此，研制靈敏度高、選擇性好的氣敏傳感器，對易燃、有毒氣體進(jìn)行監(jiān)控、檢測和報(bào)警就具有十分重要的意義和應(yīng)用價(jià)值。與傳統(tǒng)的氣敏傳感器相比，基于一維納米結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器將具有更高的靈敏度和更好的選擇性。 本論文通過簡單水熱合成方法，以鎢酸作為前驅(qū)體，在無機(jī)鹽的輔助作用下，成

2、功合成橫向尺度可控、單分散性好的三氧化鎢一維納米結(jié)構(gòu)。利用深紫外亞微米光刻工藝、真空鍍膜等技術(shù)，構(gòu)筑基于單根三氧化鎢一維納米結(jié)構(gòu)的納米氣敏傳感器模型。引入虛擬儀器的概念，運(yùn)用LabVIEW編程，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制氣敏傳感器性能測試。 基于單根三氧化鎢一維納米結(jié)構(gòu)的納米氣敏傳感器模型，本文系統(tǒng)研究了三氧化鎢一維納米結(jié)構(gòu)及其在紫外光照射下的電學(xué)性能；還系統(tǒng)研究了室溫環(huán)境中紫外光激勵(lì)下O2、NH3、C2H5OH等分子吸附對三氧化鎢一維