基于Silvaco TCAD軟件的肖特基梁式引線二極管的設(shè)計與研制.pdf

1、Silvaco TCAD軟件以DeckBuild為運(yùn)行核心仿真器的交互式環(huán)境工具，給半導(dǎo)體工藝所有階段的設(shè)計仿真提供了強(qiáng)大的幫助，Silvaco TCAD軟件包括可視工具DeckBuild和Tonyplot、器件編輯器DevEdit、工藝仿真工具ATHENA和器件仿真工具ATLAS，可以對肖特基梁式引線二極管進(jìn)行模擬設(shè)計及器件仿真。
　　梁式引線（beam lead）技術(shù)用于高集成度二極管和微波組件中，其目的是盡可能地改進(jìn)模塊及提

2、高互聯(lián)的可靠性。肖特基梁式引線二極管（beam lead-SBD）的問世，很好地減小了器件的尺寸、體積，提高了使用頻率。
　　本論文正是為了滿足市場及國產(chǎn)化需求，以國內(nèi)外市場通用的HSCH5340型肖特基梁式引線二極管為研制目標(biāo)。從高頻段微波肖特基梁式引線二極管的理論設(shè)計及其工藝技術(shù)的實(shí)現(xiàn)出發(fā)，通過Silvaco TCAD軟件設(shè)計和器件仿真，對肖特基梁式引線二極管進(jìn)行設(shè)計和工藝優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了肖特基梁式引線二極管的工藝貫通，最終使器件

3、達(dá)到研制目標(biāo)。主要內(nèi)容為：
　　1．結(jié)合近年來國內(nèi)外對肖特基梁式引線二極管的研究，論述了肖特基二極管與pn二極管的區(qū)別，著重論述了本文的組織架構(gòu)。
　　2．簡單介紹了 Silvaco TCAD軟件的特點(diǎn)及用途，結(jié)合國外對肖特基梁式引線二極管的研究，分析了梁式引線二極管的結(jié)構(gòu)及使用。
　　3．重點(diǎn)分析了肖特基梁式引線二極管的設(shè)計，包括材料選擇對肖特基電參數(shù)的影響、肖特基梁式引線二極管的VF、C、NF、VR、RD等電參數(shù)的

4、設(shè)計、Silvaco TCAD軟件對氧化等工序進(jìn)行仿真設(shè)計以及在器件可靠性設(shè)計。
　　4．具體介紹了肖特基梁式引線二極管的的工藝實(shí)現(xiàn)。大致介紹了經(jīng)典梁式引線二極管的通用工藝；梁式引線二極管的金屬“梁”的分析與設(shè)計；重點(diǎn)描述了肖特基梁式引線二極管的工藝流程，通過五次光刻最終實(shí)現(xiàn)肖特基梁式引線二極管的工藝貫通。
　　5.對肖特基梁式引線二極管的工藝實(shí)現(xiàn)進(jìn)行詳細(xì)討論。
　　綜上所述，通過對肖特基梁式引線二極管的優(yōu)化設(shè)計以及S