溶膠凝膠法制備二氧化錫氣敏薄膜.pdf

1、分類號(hào)學(xué)號(hào)M201172165學(xué)校代碼10487密級(jí)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文溶膠凝膠法溶膠凝膠法制備二氧化錫氣敏薄膜制備二氧化錫氣敏薄膜學(xué)位申位申請(qǐng)人：谷清慧谷清慧學(xué)科專業(yè)學(xué)科專業(yè)：集成電路工程集成電路工程指導(dǎo)教師指導(dǎo)教師：傅邱云傅邱云教授教授答辯日期答辯日期：2013.05.28獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個(gè)人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除文中已經(jīng)標(biāo)明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)

2、發(fā)表或撰寫過(guò)的研究成果。對(duì)本文的研究做出貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識(shí)到，本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。學(xué)位論文作者簽名：日期：年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書(shū)本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，即：學(xué)校有權(quán)保留并向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)華中科技大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存和匯