大曲率半徑光學(xué)元件的測量及誤差分析.pdf

1、本文研究了一種新的菲索干涉儀測量大曲率半徑光學(xué)元件的方法，該方法使用標(biāo)準平面鏡作為參考鏡對樣品的表面形貌及相關(guān)參數(shù)進行測量并做誤差分析。實驗及分析表明，該方法能有效解決大曲率半徑光學(xué)元件測量中參考鏡加工難度大、測量所需空間長、測量精確度不高等傳統(tǒng)測量方法帶來的問題，是一種有效的非接觸、高精度、納米級大曲率半徑光學(xué)元件形貌測量方法，具有很高的實用性。
　　在該方法中，先通過菲索干涉測量得到大曲率光學(xué)元件的表面形貌，再通過絕對測量法得

2、到參考平面鏡表面的絕對形貌，最后對這兩個形貌進行處理，得到大曲率半徑光學(xué)元件表面的絕對面形及相關(guān)PV值、RMS值。由于商用干涉儀配套軟件不能滿足測量分析需求，我們采取商業(yè)軟件與自編程序相結(jié)合的方法，對干涉圖進行采集、解包裹、澤尼克多項式分解及重新擬合等操作，并最終以圖像與數(shù)值相結(jié)合的方式表達了最終的測量計算結(jié)果。
　　本文除了對大曲率半徑光學(xué)元件的表面面形進行測量，還對測量過程中的種種誤差進行分析，其中包括干涉圖校準誤差、絕對測量