大尺寸光學(xué)元件面形檢測(cè)平臺(tái)開(kāi)發(fā)及誤差補(bǔ)償研究.pdf

1、隨著非球面等光學(xué)元件的廣泛應(yīng)用，光學(xué)元件正向小型高精度化和大型高精度化的方向發(fā)展，因此對(duì)光學(xué)元件的加工與檢測(cè)提出了更高的要求。各國(guó)投入了大量的人力、物力研究光學(xué)元件的加工和檢測(cè)，但目前國(guó)內(nèi)的相關(guān)研究主要針對(duì)小尺寸元件的檢測(cè)，對(duì)大尺寸元件的檢測(cè)技術(shù)仍處于起步階段。本文基于自主研發(fā)的大尺寸光學(xué)元件面形檢測(cè)平臺(tái)，對(duì)檢測(cè)平臺(tái)機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行了分析和測(cè)量，同時(shí)對(duì)誤差建模與誤差補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)研究，主要工作如下:
　　1.根據(jù)大尺寸光學(xué)元件面形

2、檢測(cè)的特點(diǎn)和要求，完善了檢測(cè)平臺(tái)的整體設(shè)計(jì)，包括總體結(jié)構(gòu)，檢測(cè)部件、控制和測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)等。在原結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，對(duì)Z軸運(yùn)動(dòng)和支撐機(jī)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，同時(shí)開(kāi)發(fā)了控制測(cè)量軟件。測(cè)量初始化后，合理的測(cè)量路徑，適用于不同類(lèi)型光學(xué)元件的測(cè)量。
　　2.對(duì)檢測(cè)平臺(tái)機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行分析，同時(shí)測(cè)量了部分誤差單項(xiàng)。根據(jù)檢測(cè)平臺(tái)數(shù)學(xué)模型，建立了基于球桿儀的空間總體誤差參數(shù)模型，根據(jù)模型進(jìn)行機(jī)構(gòu)各單項(xiàng)誤差系數(shù)的識(shí)別，并提出誤差補(bǔ)償方案。針對(duì)總體機(jī)構(gòu)誤差進(jìn)行了補(bǔ)償實(shí)驗(yàn)