基于邊界作動的薄膜反射鏡熱變形誤差消除方法研究.pdf_第1頁
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1、碩士學位論文碩士學位論文基于邊界作動的薄膜反射鏡熱變形誤差消除方法研究RESEARCHONELIMINATIONOFTHERMALDEFMATIONOFMEMBRANEREFLECTWITHBOUNDARYACTUATION陸一凡陸一凡哈爾濱工業(yè)大學哈爾濱工業(yè)大學2014年7月ClassifiedIndex:V476.3U.D.C:621DissertationftheMasterDegreeinEngineeringRESEARCHO

2、NELIMINATIONOFTHERMALDEFMATIONOFMEMBRANEREFLECTWITHBOUNDARYACTUATIONCidate：YifanLuSupervis：Prof.ZongquanDengAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalDesignTheyAffiliation：SchoolofMechatronicsEnginee

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