半超結(jié)快恢復功率二極管的工藝特性研究.pdf

1、半超結(jié)快恢復功率二極管是在超結(jié)快恢復功率二極管的基礎(chǔ)上加入底端輔助層來實現(xiàn)的。由于底端輔助層的加入，半超結(jié)二極管的反向恢復軟度因子和耐壓較超結(jié)二極管均相應的提升，同時更好的減小了器件的導通電阻和反向恢復時間。底端輔助層的加入在提升了器件特性的情況下大大的減小了超結(jié)部分的工藝制作難度。半超結(jié)快恢復功率二極管的電學特性很大程度上取決于其工藝制作，因而，研究其工藝過程對于優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)和性能有著很大的意義。
　　本文分析了半超結(jié)快恢復功率

2、二極管的結(jié)構(gòu)特點和工作原理，重點研究其制作工藝，并用ISE-TCAD軟件對器件的制造工藝進行了模擬仿真，通過優(yōu)化最終給出了半超結(jié)快恢復功率二極管的工藝參數(shù)和實施步驟方案。
　　首先，確定了半超結(jié)快恢復功率二極管的結(jié)構(gòu)尺寸和工藝參數(shù)，對器件的工藝參數(shù)進行了理論分析，并主要分析了各個區(qū)域摻雜濃度和結(jié)構(gòu)尺寸對器件的動態(tài)特性和靜態(tài)特性的影響。
　　其次，通過ISE-TCAD軟件對器件的制造工藝進行了設(shè)計模擬，重點分析了超結(jié)部分制作工