半超結快恢復功率二極管的工藝特性研究.pdf

1、半超結快恢復功率二極管是在超結快恢復功率二極管的基礎上加入底端輔助層來實現的。由于底端輔助層的加入，半超結二極管的反向恢復軟度因子和耐壓較超結二極管均相應的提升，同時更好的減小了器件的導通電阻和反向恢復時間。底端輔助層的加入在提升了器件特性的情況下大大的減小了超結部分的工藝制作難度。半超結快恢復功率二極管的電學特性很大程度上取決于其工藝制作，因而，研究其工藝過程對于優(yōu)化器件結構和性能有著很大的意義。
　　本文分析了半超結快恢復功率

2、二極管的結構特點和工作原理，重點研究其制作工藝，并用ISE-TCAD軟件對器件的制造工藝進行了模擬仿真，通過優(yōu)化最終給出了半超結快恢復功率二極管的工藝參數和實施步驟方案。
　　首先，確定了半超結快恢復功率二極管的結構尺寸和工藝參數，對器件的工藝參數進行了理論分析，并主要分析了各個區(qū)域摻雜濃度和結構尺寸對器件的動態(tài)特性和靜態(tài)特性的影響。
　　其次，通過ISE-TCAD軟件對器件的制造工藝進行了設計模擬，重點分析了超結部分制作工