超低漏電超快恢復(fù)二極管壽命控制新技術(shù)研究.pdf

1、高壓功率快恢復(fù)二極管(以下簡(jiǎn)稱FRD)廣泛地應(yīng)用于電力電子電路中，作為續(xù)流二極管與三端功率器件并聯(lián)使用，是現(xiàn)代電力電子技術(shù)中的關(guān)鍵器件。圍繞著如何減下FRD的反向恢復(fù)時(shí)間、提高綜合性能，國(guó)際功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域進(jìn)行了廣泛的探討，熱點(diǎn)集中在了器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和壽命控制等技術(shù)上，其中又以壽命控制技術(shù)為為主要焦點(diǎn)。在利用壽命控制技術(shù)減小FRD反向恢復(fù)時(shí)間的研究中，局域壽命控制技術(shù)以其良好的軸向局域摻雜優(yōu)勢(shì)(相對(duì)于整體壽命控制技術(shù))備受關(guān)注。

2、 本課題研究提出了新型的局域鉑摻雜技術(shù)和電子輻照技術(shù)相結(jié)合的壽命控制技術(shù)，以期改善FRD的綜合性能。局域鉑摻雜的實(shí)現(xiàn)方法是利用氫離子輻照感生空位缺陷汲取鉑原子，局域鉑摻雜的位置和濃度要受到氫離子輻照能量和劑量的限制，同時(shí)形成的局域鉑摻雜也具有一定的寬度。這樣就將氫離子輻照的局域優(yōu)勢(shì)與鉑能級(jí)位置的優(yōu)勢(shì)結(jié)合起來(lái)。電子輻照技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的制造中，本課題用來(lái)進(jìn)一步降低反向恢復(fù)時(shí)間。 本論文作者通過仿真測(cè)試，驗(yàn)證了課題研究的理