Co摻雜ZnO薄膜的制備及其對CH3COCH3響應的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、低濃度丙酮氣體的檢測在監(jiān)測工業(yè)生產(chǎn)、食品質(zhì)量、畜牧業(yè)和疾病等中有重要的作用，因此，對丙酮氣體的檢測很有必要性。ZnO是最早應用于氣體傳感器的金屬氧化物半導體氣敏材料之一，通過摻雜Co可以改變ZnO薄膜的表面形貌，改善對丙酮的氣敏性、選擇性等。
　　本實驗中以ITO玻璃為基體，采用電沉積法制備Co摻雜ZnO薄膜。通過掃描電鏡(SEM)和X衍射(XRD)對其表面形態(tài)和成分進行表征。分析表明，制備的Co摻雜ZnO薄膜傳感材料表面顆粒大小

2、均勻，顆粒間空隙較多。從沉積電壓、沉積溫度及溶液濃度等方面優(yōu)化了ZnO薄膜的制備條件。最佳制備條件如下:沉積電壓為-0.9V，沉積溫度為50℃，溶液濃度CZn2+=1.0mol/L，CCO2+=0.1 mol/L。
　　將Co摻雜的ZnO薄膜組裝成傳感器，采用直流電阻法測定了300-600℃?zhèn)鞲衅鲗?00ppm丙酮的氣敏性。結(jié)果表明，400℃燒結(jié)的薄膜對丙酮的響應最大，為8.57，且具有較短的響應和恢復時間。在200-400℃工作

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