微納結(jié)構(gòu)增透膜的研究.pdf

1、微納結(jié)構(gòu)增透膜由于其在較寬的波段以及入射角范圍內(nèi)能有效抑制反射損耗、增加光的透過率而得到廣泛關(guān)注。在科學(xué)研究方面，目前用于分析其反射特性的理論方法有很多，但如何在給定的條件下選擇適當?shù)睦碚摲椒ㄉ形赐耆鞔_；在應(yīng)用方面，微納結(jié)構(gòu)增透膜以其超透射、超帶寬、角度范圍大等物理特性帶來了優(yōu)越的器件性能和廣泛的應(yīng)用前景。因此研究微納結(jié)構(gòu)增透膜不論是對于理論研究還是應(yīng)用研究都具有十分重要的意義。
　　本文首先介紹了分析微納結(jié)構(gòu)增透膜反射特性的幾

2、種重要理論方法：等效介質(zhì)理論、嚴格耦合波理論、時域有限差分法、有限元法。隨后，利用不同的理論方法分析微納結(jié)構(gòu)增透膜反射特性的影響因素：微納結(jié)構(gòu)的周期、高度、基底折射率與填充因子，通過計算、比較得出了不同理論的適用條件，即入射光的波長遠大于微納結(jié)構(gòu)周期時，由于高級次衍射波的引入，等效介質(zhì)理論不再適用；嚴格耦合波理論一般適用于周期性結(jié)構(gòu)，計算結(jié)果較為精確；時域有限差分法與有限元分析法可以計算各種結(jié)構(gòu)的反射特性，但是計算量取決于求解域的大小，