2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、隨著MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))工藝的發(fā)展,微流體系統(tǒng)已經(jīng)成為一個(gè)非常熱門的研究領(lǐng)域,而無(wú)閥微泵作為微流體系統(tǒng)的核心動(dòng)力元件也得到了越來(lái)越多的關(guān)注。然而,無(wú)閥微泵的傳統(tǒng)制造工藝方法具有工藝復(fù)雜、生產(chǎn)周期長(zhǎng)、成本高等不足,為了解決這些工藝不足,本文提出了一種新的設(shè)計(jì)思想,對(duì)無(wú)閥微泵的制造工藝進(jìn)行了深入的研究和適當(dāng)?shù)母倪M(jìn)。
  本文首先介紹了無(wú)閥微泵的工作原理,并通過有限元軟件仿真分析得出了收縮管/擴(kuò)張管的流量及效率隨著其主要參數(shù)(包括擴(kuò)張

2、角、長(zhǎng)度、最小寬度和泵腔深度)的變化關(guān)系。在此基礎(chǔ)上,選擇優(yōu)化的參數(shù)進(jìn)行了無(wú)閥微泵的平面尺寸設(shè)計(jì)。然后基于“泵膜與泵體一體化”的設(shè)計(jì)思想,進(jìn)行了無(wú)閥微泵的模板設(shè)計(jì),并以MEMS加工工藝(光刻、ICP刻蝕)為基礎(chǔ),制作了無(wú)閥微泵泵體的模板,詳細(xì)介紹了各工藝的具體流程和參數(shù)。用基恩士對(duì)制作出的模板進(jìn)行了二維和三維尺寸測(cè)量,以確保滿足設(shè)計(jì)要求。最后利用前面制作好的泵體模板,以軟刻蝕工藝為基礎(chǔ),制作出無(wú)閥微泵的泵體,并用SEM進(jìn)行了收縮管/擴(kuò)張

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