基于軟刻蝕技術的無閥微泵制造工藝研究.pdf

1、隨著MEMS（微機電系統）工藝的發(fā)展，微流體系統已經成為一個非常熱門的研究領域，而無閥微泵作為微流體系統的核心動力元件也得到了越來越多的關注。然而，無閥微泵的傳統制造工藝方法具有工藝復雜、生產周期長、成本高等不足，為了解決這些工藝不足，本文提出了一種新的設計思想，對無閥微泵的制造工藝進行了深入的研究和適當的改進。
　　本文首先介紹了無閥微泵的工作原理，并通過有限元軟件仿真分析得出了收縮管/擴張管的流量及效率隨著其主要參數（包括擴張

2、角、長度、最小寬度和泵腔深度）的變化關系。在此基礎上，選擇優(yōu)化的參數進行了無閥微泵的平面尺寸設計。然后基于“泵膜與泵體一體化”的設計思想，進行了無閥微泵的模板設計，并以MEMS加工工藝（光刻、ICP刻蝕）為基礎，制作了無閥微泵泵體的模板，詳細介紹了各工藝的具體流程和參數。用基恩士對制作出的模板進行了二維和三維尺寸測量，以確保滿足設計要求。最后利用前面制作好的泵體模板，以軟刻蝕工藝為基礎，制作出無閥微泵的泵體，并用SEM進行了收縮管/擴張