基于軟刻印技術(shù)的微透鏡陣列制作.pdf

1、分類號密級UDC注1學(xué)位論文基于基于軟刻印技術(shù)的微透鏡陣列制作印技術(shù)的微透鏡陣列制作（題名和副題名）吳非吳非（作者姓名）指導(dǎo)教師姓名陳文彬陳文彬副教授教授電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)成都成都（職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址）申請學(xué)位級別碩士碩士專業(yè)名稱光學(xué)工程光學(xué)工程論文提交日期2008.4論文答辯日期2008.5學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)答辯委員會主席評閱人2008年4月日注1：注明《國際十進(jìn)分類法UDC》的類號摘要I摘

2、要摘要有機(jī)電致發(fā)光從最初進(jìn)行的研究直到今天，在許多方面都有了很大的突破，但目前仍存在著一些困難，例如器件的壽命就是比較關(guān)鍵的問題。如果器件具有較高的發(fā)光效率，便可在出射光子數(shù)相同的情況下，減少電子數(shù)的注入，從而降低了器件的焦耳熱，提高了器件的壽命，所以提高OLED的量子效率是解決器件壽命問題的關(guān)鍵所在。利用微透鏡提高器件的外量子效率可以取得明顯的效果。第一章介紹了有機(jī)電致發(fā)光器件的優(yōu)點(diǎn)，器件的幾種結(jié)構(gòu)，發(fā)光的機(jī)理，以及評價有機(jī)電致發(fā)光器

3、件的一些主要參數(shù)。闡述了OLED是一種很有前途的顯示技術(shù)，以及存在的一些困難。第二章介紹了折射型和衍射型微透鏡，尤其介紹了折射型微透鏡的制作方法和圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，闡述了利用微接觸法制作微透鏡的優(yōu)勢。第三章首先從理論上計算了OLED器件的外量子效率，然后介紹了光學(xué)軟件Tracepro的優(yōu)點(diǎn)和工作原理，利用Tracepro對OLED及其微透鏡進(jìn)行光學(xué)仿真方面進(jìn)行了探索，并對微透鏡相關(guān)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。第四章研究了OLED器件的折射型微透鏡制作工

4、藝，介紹了采用高分子聚合物材料Poly(dimethylsiloxan)制作微透鏡陣列的優(yōu)劣和詳細(xì)的制作工藝參數(shù)等，脫膜是本實(shí)驗(yàn)中最關(guān)鍵的一步，主要是由于高分子聚合物PDMS對玻璃有很強(qiáng)的黏附性，固化成膜之后就和玻璃基板粘在一起，很難剝離。所以在實(shí)驗(yàn)中保持對固化過程的密切注意，等到PDMS固化成形但尚未完全固化時進(jìn)行剝離，然后繼續(xù)烘烤，使其完全固化得到微透鏡陣列。利用濕法刻蝕玻璃作為模版，采用PDMS作為材料制作了直徑200微米的柱微透