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文檔簡介
1、本文研究了在折射型微透鏡及微透鏡陣列光學(xué)性質(zhì)與制作技術(shù)。利用Mie散射理論對亞微米微球體透鏡的光學(xué)性質(zhì)進行了系統(tǒng)的分析，同時利用eikonal近似方法分析了亞微米微旋轉(zhuǎn)橢球體透鏡的光學(xué)性質(zhì)；利用嚴(yán)格的耦合波理論對亞微米微透鏡陣列的光學(xué)性質(zhì)進行了分析，結(jié)果表明該類微透鏡陣列經(jīng)過合理的參數(shù)選擇能起到抗反射的作用，從而為該類微透鏡陣列找到了新的應(yīng)用領(lǐng)域；研究了光刻膠熱熔法制作微透鏡陣列的工藝，采用了縮短顯影時間法使微透鏡陣列的F數(shù)與填充因子得
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