基于光譜分辨的單幀式絕對(duì)程差測(cè)量.pdf

1、傳統(tǒng)的單色激光干涉儀雖然具有很高的測(cè)量精度，但在移相過(guò)程中易受外界振動(dòng)的影響，且具有相位不確定性，這兩個(gè)問(wèn)題限制了它在在線(xiàn)測(cè)量中的廣泛應(yīng)用。白光光譜分辨式干涉測(cè)量是一種通過(guò)分析寬帶干涉光的光譜信息來(lái)獲取被測(cè)面形的干涉技術(shù)，由于只需要一幀干涉圖，因此它對(duì)外界振動(dòng)具有不敏感性，且能克服相位不確定性的影響，能夠測(cè)量臺(tái)階面。本文在已有的一維白光光譜干涉儀的基礎(chǔ)上，通過(guò)使用FP標(biāo)準(zhǔn)將連續(xù)的白光光譜濾成具有一定間隔的梳狀光譜，從而在CCD上將相鄰光

2、譜的干涉圖分開(kāi)一定的距離，這樣就避免了被測(cè)面各個(gè)位置光譜信息的互相交疊，能夠進(jìn)行二維面形的測(cè)量。
　　 本文對(duì)單幀式干涉測(cè)量方法進(jìn)行了理論建模，對(duì)各個(gè)模塊的要求進(jìn)行了仿真分析；搭建了一維單幀式測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，對(duì)一個(gè)刻蝕有臺(tái)階面的硅片進(jìn)行了測(cè)量，獲得被測(cè)面的面形；利用四步空間移相法解出了單波長(zhǎng)下相位分布，并利用此分布對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了精度提升；然后在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了二維單幀式測(cè)量實(shí)驗(yàn)，并獲得了一個(gè)狹窄的二維臺(tái)階面的面形，測(cè)量結(jié)果具有較高