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文檔簡介
1、垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，簡稱VCSEL)是一種半導(dǎo)體激光器，因其具有很低的閾值電流，易于光纖耦合，很大的信息傳輸量，便于二維集成等特性得到了廣泛的應(yīng)用。本論文設(shè)計并制備了新型結(jié)構(gòu)的VCSEL并對其光電特性進行了檢測，主要內(nèi)容如下:
本論文詳細闡述了VCSEL的基本原理及其應(yīng)用。對VCSEL的結(jié)構(gòu)進行了分析，由于傳統(tǒng)VCSEL一般為圓柱狀對稱結(jié)構(gòu)，具有偏振
2、不穩(wěn)定性，容易產(chǎn)生偏振態(tài)變換現(xiàn)象。為了解決上述問題，本文對VCSEL的偏振控制進行了探討，對國內(nèi)外偏振的控制方法進行了研究。我們的主要工作有兩個:
1、提出了一種偏振控制方法，即刻蝕橢圓形臺面VCSEL，對它的偏振特性進行了改善。
2、對VCSEL的電極結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化，設(shè)計了一種新型的電極結(jié)構(gòu)即雙橢圓形電極結(jié)構(gòu)，改善了VCSEL的出光質(zhì)量。
我們還對橢圓結(jié)構(gòu)VCSEL制備的關(guān)鍵工藝進行了研究，通過實驗我們制
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