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1、廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文電遷移壽命預(yù)警電路設(shè)計(jì)姓名:王浩申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:羅宏偉20120605AbstractWiththedevelopmentofmicroelectronictechnologytheintegratedcircuit’Scharacteristicdimensiondecreasestolessthanamicrometer,evenafewnanometersIntheme
2、anwhile,themetalinterconnectlineenduresalargercurrentdensityasaresultofasmallercrosssectionareaAccordingtoBlack’SEquationthelifetimeofametalinterconnectlinedeclineswiththeriseofthecurrentdensityacrosstheIineThereforethee
3、lectromigrationofmetalinterconnectlinehasbeenoneofthemainfailuremechanisinsofICsanditisnecessarytopredictthelifetimeofthemetalinterconnectlinepreciselyComparedwithtraditionaldiagnostictechnology,theprognosticandhealthman
4、agementtechnologyofelectronicsisbetterrecognizedasasuperioronesinceitinvolvesinseveralnewfrontiersubjects,belongstoconditionbasedmaintenance,andhasoverwhelmingadvantagesovertraditionalschedulemaintenanceandaftermaintenan
5、ceAtpresent,therearethreemainmethodstoimplementthistechnology:‘‘canaries’’or‘‘fuses’’,monitoringprecursorstofailureandmonitoringenvironmentalandusageloadsInthispaper,weadoptthe‘canary”methodtOpredicttheelectromigrationfa
6、ilureofICsInthecircuit,acanarycellisaddedtOprovidewarningoffailureduetospecialwearoutfailuremechanismsinadvanceWepresentaprognosticcircuitofelectromigrationfailuremechanismwhichincludesastresscircuitandameasurementcircui
7、tInastressingcycle,alargercurrentisappliedtOthestressresistorthenelectromigrationacceleratesanditsresistanceincreasesHowever,inameasurementcycle,thevalueofthestressresistorwillbedetermined,andtheswitchofthetwocyclesiscon
8、trolledbyaclockimpulsesignalInthemeasurementstate,whenthestressresistanceislessthan120%,theoutputremainsconstant;Otherwise,itsoutputturnsInthispaper,aprognosticschematicdiagramofelectromigrationlifetimeisfirstdesignedbas
9、edontheresearchandanalysisofdomesticandoversealiteraturesThentheimplementationofcircuitblocksandthewholecircuitareaccomplished脅fisimportantisthatwedesignacurrentsourceandacomparatorindependentoftemperatureandpowersupplyF
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