光刻機精密水溫控制系統(tǒng)的熱結(jié)構(gòu)設計.pdf

1、超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展對作為制造集成電路的關(guān)鍵設備——光刻機提出了更高的要求。高精度的溫控裝置是光刻機的關(guān)鍵支撐技術(shù)，以實現(xiàn)對投影物鏡的工作環(huán)境溫度進行精確控制，其研究具有重要意義。
　　本文來源于國家02重大專項“193納米光刻機”的子項目“光刻機物鏡冷卻水溫控系統(tǒng)”，主要負責該系統(tǒng)的熱結(jié)構(gòu)設計，即研究和設計熱交換子系統(tǒng)。本文從傳熱學和流體控制方程相關(guān)理論出發(fā)，吸取國內(nèi)外的光刻機溫控裝置相關(guān)經(jīng)驗，結(jié)合課題需要，提出了熱交換子系

2、統(tǒng)的總體方案，并且對其中的重點組成部分進行了深入研究。
　　在制冷模塊的設計過程中，選取半導體制冷技術(shù)，并進行了制冷模塊的結(jié)構(gòu)設計，同時運用流體熱力學有限元分析軟件(EFD.Pro9.0)對制冷模塊的冷端進行了流體熱力學仿真分析計算，討論了不同材料、不同流速的循環(huán)水、不同的半導體制冷片安裝方式和不同的翅片結(jié)構(gòu)參數(shù)對制冷模塊制冷性能的影響，進一步優(yōu)化了制冷模塊的相關(guān)參數(shù)，實現(xiàn)了較高熱交換效率和大功率制冷的要求。完成了加熱水箱和循環(huán)管