SMR-FBAR布拉格反射柵復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)的制備及器件熱性能研究.pdf

1、伴隨通信技術(shù)的發(fā)展,人們通信技術(shù)要求的逐漸提高,為了獲得更加舒適的生活和更加便利的通信方式,需要使得通信濾波器有較小的尺寸,更高的運(yùn)行速度,更大的帶寬和更為經(jīng)濟(jì)的使用成本,體聲波諧振器作為一種全新的濾波器形式件是滿足人們需求的最佳選擇。其應(yīng)范圍從通信領(lǐng)域逐漸擴(kuò)大到了傳感器件領(lǐng)域,但目前的研究主要集中于器件本身的性能和擴(kuò)大其應(yīng)用范圍,對(duì)材料的熱穩(wěn)定性及器件在使用中的熱性能研究還有所不足。
　　針對(duì)上面的問題,本文采用磁控濺射技術(shù)和有

2、限元方法對(duì)體聲波諧振器的的熱性能進(jìn)行了研究,使用磁控濺射技術(shù)制備了氧化硅、非晶碳和鎢薄膜,其中氧化硅作為低聲阻抗材料使用,非晶碳和鎢作為高聲阻抗材料使用。文中研究了溫度、功率和氣壓等實(shí)驗(yàn)參數(shù)對(duì)薄膜性能的影響,使用有限元方法結(jié)合實(shí)驗(yàn)所測(cè)得的實(shí)驗(yàn)結(jié)果對(duì)體聲波諧振器的熱性能和熱應(yīng)力水平進(jìn)行了相應(yīng)的分析,對(duì)所用的材料進(jìn)行相應(yīng)的評(píng)定。
　　GIXRD研究表明使用磁控濺射制備出的氧化硅和非晶碳薄膜都呈現(xiàn)非晶態(tài)結(jié)構(gòu),溫度對(duì)薄膜晶態(tài)結(jié)構(gòu)沒有影響。

3、在較低功率下制備的鎢薄膜為穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu),在較高溫度下制備的薄膜為穩(wěn)態(tài)和亞穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)的混合體,在有限的溫度變化條件下沒有改變薄膜的晶態(tài)結(jié)構(gòu)。XRR研究表明,在溫度逐漸上升的條件下,非晶碳薄膜的密度逐漸下降,氧化硅和金屬鎢薄膜的密度逐漸上升,同時(shí)納米壓痕研究表明,隨著溫度的上升,非晶碳薄膜的楊氏模量逐漸下降,氧化硅薄膜的楊氏模量逐漸上升而金屬鎢薄膜的楊氏模量出現(xiàn)先上升后下降的狀態(tài)。
　　文中使用了磁控濺射技術(shù)進(jìn)行了氧化硅/非晶碳和氧化硅/鎢

4、多層薄膜結(jié)構(gòu)的制備同時(shí)研究了多層薄膜結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性,研究表明氧化硅/非晶碳在較低的溫度下有較好的聲阻抗比而隨著溫度的上升聲阻抗比逐漸下降,當(dāng)達(dá)到300℃時(shí)就不能很好的反射波能量,對(duì)于氧化硅/鎢多層薄膜結(jié)構(gòu)溫度穩(wěn)定性較好,在溫度小范圍上升時(shí)可以在一定程度上改善薄膜的聲阻抗比,提高器件的使用性能,現(xiàn)時(shí)多層薄膜結(jié)構(gòu)也有較好的溫度穩(wěn)定性。
　　針對(duì)器件的熱性能文中使用有限元方法并結(jié)合實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)器件的溫度和熱應(yīng)力水平進(jìn)行了研究,隨著Br