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1、西華大學(xué)碩士學(xué)位論文多元多層復(fù)合膜的制備及性能研究姓名:張馨元申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):材料加工工程指導(dǎo)教師:趙廣彬201204多元多層復(fù)合膜的制備及性能研究AbstractInthispaperitdescribestheprinciple,characteristics,applicationanddevelopmentstatusquoofthemulti—arcionplatingtechnique,andthenreviewes
2、thethinfilmsofTiN,CrN,TiCrNUsingXH800multiarcionplatingequipmentwhichisselfmadetopr印撕ngTiN,CrNandTiN/TiCrN/CrNmultimultilayerfilm(15layers)onYG6carbidesurfaceThestructuremorphologycompositionandthemainperformanceoffilmsw
3、ereexaminedbyXRD、SEM、MicrohardnessTest,StereomicroscopeandScratchTestTheXRDpattemsindicatesthattheTiNfilmtotheTiN(111)crystalplanepreferredorientationandexistenceoftheTiCphaseInCrNfilm,itcontainsCrNandCr2Nphase,andnoelem
4、entalCrphaseTheTiN/TiCrN/CrNmulti—multilayerfilmsexistsTiNandCr2Nphasewiththechromiumtargetcurrentincreaseing,thepreferredorientationofTiNfrom(200)changesinto(111),andalsoappeareselementalCrTheSEMofmicroscopicobservation
5、showedthatthesurfaceofTiN門(mén)riCrN/CrNmultimultilayerfilmshavelesslargeparticlesthanthemonolayertheintroductionofCrimprovedthesurfacequalityofthefilmThefracturemorphologyshowstheTiN爪CrN/CrNmulti—multilayerfilmshavethemulti—
6、layerstructure,anditchangesthecoarsecolumnargraingrowthofthemonolayermakesthefilmafmecolumnargraingrowthThethickestofTiN/TiCfN/CrNmultimultilayerfilmis5021arnthethicknessoffilmareaffectedbythetargetcurrent,depositiontime
7、,biasfactorsandSOonBothmonolayerandmultilayerfilmwhicharedensestructure,aswellashaveagoodcombinationwiththematrixSurfacespectroscopyresultsshowthatthemonolayersurfaceN:TiandN:CratomicpercentageisclosetoI:l,thepresenceofd
8、ropletsandparticlesarethemaincausesofdeviationWhichrelativewithtargetscurrentandbias;theTiN/TiCrN/CrNmultimultilayerfilmsurfacecompositionWhichrelatedwithtitaniumtargetandchromiumtargetcurrentratio,thenumberofdropletsand
9、particlesofthefilmsurfaceimpactedbythechromiumtargetcurrentMicrohardnessandbindingtestshowthatthehardnessoftheTiNmonolayerisabout2000HVthehighestis2156HVthebindingforceisupto50N;thehardnessofCrNmonolayerisupto2595Nandthe
10、bindingforcereachto60NThehardnessoftheTiN用CrN/CrNmultimultilayerfilmsis2000HVabovewhichhighestisupto2336HVthehighestbindingforceis63NThehardnessofTiN伍CIN/Cr】Nmulti—multilayerfilmsisbetweenTiNfilmandCrNfilmComparedtotheTi
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