基于柔性鉸鏈的微動平臺設(shè)計與運動仿真.pdf

1、分類號：UDC：密級：學(xué)校代號：學(xué)號：1184521l1001087廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文(工學(xué)碩士)基于柔性鉸鏈的微動平臺設(shè)計與運動仿真何偉宏指導(dǎo)教師姓名、職稱：高健教授專業(yè)或領(lǐng)域名稱：扭越電壬工程學(xué)生所屬學(xué)院：扭電工程堂院論文答辯日期：2Ql曼生魚目摘要摘要隨著運動執(zhí)行機構(gòu)不斷向高速、大行程、納米級精度的方向發(fā)展，精密運動平臺的研究已倍受研究人員的關(guān)注。本論文面向微電子裝備的高速、大行程、高精度運動的需求，開展宏微復(fù)合運動平臺的關(guān)

2、鍵技術(shù)研究，通過基于柔性鉸鏈設(shè)計理論的微平臺設(shè)計與有限元分析、運動平臺的動力學(xué)建模和宏微平臺的運動切換方法等研究，來實現(xiàn)平臺的精密定位。本文的主要研究內(nèi)容如下：1、深入調(diào)研精密運動平臺技術(shù)的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢，了解精密運動平臺的結(jié)構(gòu)組成和驅(qū)動技術(shù)，分析目前該領(lǐng)域尚存在的難點問題。2、開展基于柔性鉸鏈的微動平臺設(shè)計，在柔性鉸鏈分析與柔度計算的基礎(chǔ)上，選擇柔性鉸鏈類型，確定柔性鉸鏈作用于微動平臺的形變量，分析柔性鉸鏈移動副的伴生運動對

3、微平臺的精度影響，設(shè)計出基于對稱式柔性鉸鏈移動副結(jié)構(gòu)的微動平臺。同時開展微動平臺的有限元建模分析，通過靜力學(xué)分析和平臺的模態(tài)分析，了解平臺的靜態(tài)特性和動態(tài)響應(yīng)。3、針對宏微復(fù)合運動的龍門式宏平臺，研究平臺的機械電氣控制系統(tǒng)，并根據(jù)PMAC運動控制卡的動態(tài)連接庫，開發(fā)上位機控制模塊；同時開展運動系統(tǒng)的定位精度測試與實驗，對宏運動的振動性能進行分析。4、針對高速運動過程宏微運動的切換問題，提出一種雙層動態(tài)切換的方法，即在首先進行位置檢測方式