雙柔性平臺(tái)的設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、微/納米精密定位是精密操作的重要技術(shù)之一，被實(shí)際應(yīng)用到航空航天、生物工程、微機(jī)電系統(tǒng)裝配等精度要求為微納米級(jí)別的眾多領(lǐng)域，是國際研究的前沿技術(shù)。完成精密定位的微納操作系統(tǒng)由末端執(zhí)行部分、控制系統(tǒng)、微位移檢測(cè)裝置組成。微操作平臺(tái)作為微操作系統(tǒng)的末端執(zhí)行部分其重要性不言而喻，平臺(tái)設(shè)計(jì)的好壞直接關(guān)系到微操作的精度。本文主要是對(duì)微動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)研究，并且簡(jiǎn)單探討壓電陶瓷控制策略。
　　通過閱讀大量的文獻(xiàn)，深入了解微動(dòng)平臺(tái)的發(fā)展趨勢(shì)。把設(shè)

2、計(jì)出一個(gè)精度高，行程大的微動(dòng)平臺(tái)作為研究目標(biāo)。雙柔性平臺(tái)是基于直角型柔性鉸鏈，以橋式放大器為放大機(jī)構(gòu)與直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)雙平行四桿相結(jié)合設(shè)計(jì)而成。二自由度的并聯(lián)微操作平臺(tái)，能提供沿X，Y軸移動(dòng)的兩個(gè)方向的自由度，在水平面內(nèi)可將操作物體從不同方向移到視野中心。本文利用微動(dòng)平臺(tái)的1/4結(jié)構(gòu)，應(yīng)用柔度矩陣法和拉格朗日能量法對(duì)平臺(tái)的靜力學(xué)和動(dòng)力學(xué)分別進(jìn)行了分析，計(jì)算出雙柔性平臺(tái)的整體輸出柔度和固有頻率。同時(shí)，還使用橋式放大器的1/4數(shù)學(xué)模型的輸入柔度