雙柔性平臺的設(shè)計與分析.pdf

1、微/納米精密定位是精密操作的重要技術(shù)之一，被實際應(yīng)用到航空航天、生物工程、微機(jī)電系統(tǒng)裝配等精度要求為微納米級別的眾多領(lǐng)域，是國際研究的前沿技術(shù)。完成精密定位的微納操作系統(tǒng)由末端執(zhí)行部分、控制系統(tǒng)、微位移檢測裝置組成。微操作平臺作為微操作系統(tǒng)的末端執(zhí)行部分其重要性不言而喻，平臺設(shè)計的好壞直接關(guān)系到微操作的精度。本文主要是對微動平臺的結(jié)構(gòu)設(shè)計研究，并且簡單探討壓電陶瓷控制策略。
　　通過閱讀大量的文獻(xiàn)，深入了解微動平臺的發(fā)展趨勢。把設(shè)

2、計出一個精度高，行程大的微動平臺作為研究目標(biāo)。雙柔性平臺是基于直角型柔性鉸鏈，以橋式放大器為放大機(jī)構(gòu)與直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)雙平行四桿相結(jié)合設(shè)計而成。二自由度的并聯(lián)微操作平臺，能提供沿X，Y軸移動的兩個方向的自由度，在水平面內(nèi)可將操作物體從不同方向移到視野中心。本文利用微動平臺的1/4結(jié)構(gòu)，應(yīng)用柔度矩陣法和拉格朗日能量法對平臺的靜力學(xué)和動力學(xué)分別進(jìn)行了分析，計算出雙柔性平臺的整體輸出柔度和固有頻率。同時，還使用橋式放大器的1/4數(shù)學(xué)模型的輸入柔度