高光效白光LED用藍(lán)光增透黃光增反膜的制備及其性能研究.pdf

1、白光LED因具有節(jié)能、環(huán)保、體積小、效率高及壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)成為第四代綠色照明光源。目前GaN藍(lán)光芯片激發(fā)YAG:Ce黃光熒光粉的白光LED已經(jīng)商業(yè)化。但是界面反射、菲涅爾效應(yīng)和自身吸收等因素影響了LED的出光效率。因此，本文以提高白光LED的出光效率為目的，設(shè)計(jì)并制備了藍(lán)光增透黃光增反膜，具體包括以下內(nèi)容：
　　（1）以ZnS、TiO2、MgF2分別作為高、中、低折射率材料，采用TFC軟件進(jìn)行膜系設(shè)計(jì)，得到7層膜結(jié)構(gòu)，膜厚為961

2、nm。在400-485 nm范圍的透過(guò)率達(dá)到98％，550-800 nm范圍的透過(guò)率高于99%，符合藍(lán)光增透黃光增反的要求。
　?。?）采用磁控濺射法，在載玻片上沉積得到ZnS/TiO2/MgF2多層膜。通過(guò)掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、臺(tái)階儀、紫外-可見光分光光度計(jì)對(duì)多層膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能進(jìn)行了表征。電鏡分析表明多層膜具有明顯的界面，表面結(jié)構(gòu)致密，薄膜顆粒尺寸大小較為均勻，7層膜的表面粗糙度RMS為6.229 nm，平整性較好，

3、總膜厚為912 nm；透過(guò)率光譜表明在430-475 nm范圍內(nèi)的透過(guò)率約為57%，570-600 nm范圍內(nèi)的反射率約為90%。
　?。?）以O(shè)E-6550A、OE-6550B、YAG:Ce熒光粉、四氫呋喃、正己烷為原料制備了YAG:Ce熒光膜。然后將ZnS/TiO2/MgF2多層膜與YAG:Ce熒光膜復(fù)合。通過(guò)紫外-可見光分光光度計(jì)、熒光分光光度計(jì)對(duì)薄膜的光學(xué)性能進(jìn)行了表征。紫外-可見光譜表明純YAG:Ce熒光膜吸收紫外光和藍(lán)