2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、基于MEMS的多能域耦合特性,對MEMS執(zhí)行器進行多場耦合分析,研究MEMS執(zhí)行器在耦合場(如結構、靜電和阻尼的耦合場)中的行為特性,為MEMS執(zhí)行器的設計和應用提供參考和指導。
  首先探討MEMS執(zhí)行器多場耦合分析的方法,按照原理不同分為基于數(shù)學模型,基于宏建模,基于有限元法三種類型,闡述三類方法的原理,應用步驟和特點,為進行MEMS執(zhí)行器多場耦合分析奠定基礎。
  以靜電驅(qū)動懸臂梁和靜電驅(qū)動梳齒作為典型的MEMS執(zhí)行器

2、進行多場耦合分析。對靜電驅(qū)動懸臂梁進行力學分析,吸合效應和氣體阻尼的理論分析和推導,應用等效法求解動態(tài)特性和吸合電壓,在COMSOL中進行靜電-結構耦合分析,研究撓度與驅(qū)動電壓的關系和結構對吸合電壓的影響。對靜電驅(qū)動梳齒進行電容和靜電力的理論推導,在COMSOL中進行靜電-結構耦合分析,研究梳齒位移與驅(qū)動電壓的關系以及橫向驅(qū)動和縱向驅(qū)動的差異。
  對應用引信環(huán)境力的MEMS執(zhí)行器進行多場耦合分析。設計了一種應用引信雙環(huán)境力(最大

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