引信用MEMS微執(zhí)行器設(shè)計(jì)及加工方法的研究.pdf

1、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)在引信領(lǐng)域的應(yīng)用，改變了引信設(shè)計(jì)者的傳統(tǒng)設(shè)計(jì)思想，加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的發(fā)展。MEMS引信具有體積小、成本低、可靠性高等諸多優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)引信有更多的空間容納多傳感器探測(cè)電路和主裝藥，提高了彈藥的精確度和殺傷力。本文提出了一種新型的引信用MEMS微執(zhí)行器，重點(diǎn)對(duì)蛇形槽、微彈簧和錯(cuò)位閉鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)設(shè)計(jì)，其中錯(cuò)位閉鎖機(jī)構(gòu)不再依靠構(gòu)件變形就能實(shí)現(xiàn)閉鎖功能，提高了引信用MEMS微執(zhí)行器的可靠性。

2、>　　本文首先介紹了MEMS技術(shù)及其在軍事和引信領(lǐng)域的應(yīng)用，介紹了幾種典型引信用MEMS微執(zhí)行器的基本構(gòu)成和作用原理，并在此基礎(chǔ)上提出了具有延時(shí)功能的引信用MEMS微執(zhí)行器設(shè)計(jì)方案，其次對(duì)蛇形槽、微彈簧和錯(cuò)位閉鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行了重點(diǎn)設(shè)計(jì)。傳統(tǒng)MEMS閉鎖機(jī)構(gòu)通常依靠構(gòu)件的變形完成其閉鎖功能，而本文設(shè)計(jì)的錯(cuò)位閉鎖機(jī)構(gòu)僅是簡(jiǎn)單的錯(cuò)位移動(dòng)不再需要構(gòu)件的變形，從而避免了因構(gòu)件變形不充分造成的閉鎖不可靠問(wèn)題。通過(guò)UV-LIGA工藝和微細(xì)電火花工藝的比較