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文檔簡介
1、2~5μm紅外波段擁有兩個“大氣窗口”，分別為2~2.5μm波段與3.5~5μm波段。在此波段內(nèi)的激光由于具有較低的散射與吸收，因而在空間點(diǎn)對點(diǎn)通信、空間探測等方面擁有重要的應(yīng)用前景。與此同時光纖通信系統(tǒng)的發(fā)展迅速，導(dǎo)致了對高速、遠(yuǎn)距離的光通信光源要求越來越高。分布反饋激光器(DFB-LD)成為了高邊模抑制比的首選光源。而銻化物半導(dǎo)體激光器激射波長可在1.7μm~4.5μm范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。因而，銻化物材料是研制中紅外激光器的不可或缺的選擇。
2、
本文通過對2μm銻化物DFB-LD工作理論的分析和內(nèi)部結(jié)構(gòu)模擬設(shè)計(jì)，得出適合2μm銻化物DFB-LD的布拉格光柵的階數(shù)、光柵的周期、光柵的深度、占空比等各項(xiàng)參數(shù)，并對銻化物的濕法腐蝕的機(jī)理進(jìn)行分析實(shí)驗(yàn)，最后通過全息光刻方法濕法腐蝕制作出二階布拉格光柵。
制作出2μm銻化物 DFB-LD工作的布拉格光柵并對制備出的布拉格光柵通過掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）和原子力顯微鏡（
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