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1、碳膜以優(yōu)良的物理、化學(xué)性質(zhì)在各個(gè)領(lǐng)域得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用,但是常用的物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積等方法存在著沉積工藝復(fù)雜、碳膜內(nèi)應(yīng)力大、附著力低等一些缺點(diǎn)和不足。為了彌補(bǔ)這些不足,使碳膜應(yīng)用范圍更廣泛,本文以KCl-LiCl共晶熔體為介質(zhì),采用電化學(xué)方法在不銹鋼表沉積了碳膜。研究了304不銹鋼基體的高溫氧化行為;考查了不同的預(yù)處理對(duì)碳膜沉積的影響,確定了在不銹鋼基體上制備碳膜適宜的預(yù)處理?xiàng)l件;討論了碳膜在沉積過(guò)程中的生長(zhǎng)方式。在課題的研
2、究中,通過(guò)拉曼光譜對(duì)薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)表征;用掃描電子顯微鏡對(duì)薄膜表面進(jìn)行形貌的測(cè)試和分析;以涂層附著力自動(dòng)劃痕儀對(duì)薄膜進(jìn)行附著力測(cè)試。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,不銹鋼基體的高溫氧化、熔鹽電脫氧是在其表面制備連續(xù)的高質(zhì)量碳膜的必要條件。經(jīng)過(guò)此工藝處理后,可以增加不銹鋼表面的宏觀和微觀粗糙度,能夠制備出連續(xù)的碳膜?;w表面氧化層的厚度、附著力及其中氧化物顆粒的大小受氧化時(shí)間和溫度的影響,而這些條件直接影響到最后沉積碳膜的連續(xù)性和附著力。沉積的碳
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