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文檔簡(jiǎn)介
1、2~5μm波段內(nèi)的激光由于具有較低的散射與吸收,因而在空間點(diǎn)對(duì)點(diǎn)通信、激光雷達(dá)、軍事目標(biāo)指示方面擁有重要的應(yīng)用前景。銻化物有源區(qū)的激光器是獲得該波段的一種最熱門的方式,但在制備上還存在晶格的失配、應(yīng)力影響銻化物發(fā)展。因此本文研究了同質(zhì)外延生長(zhǎng)單層薄膜(GaSb襯底生長(zhǎng)GaSb薄膜)和異質(zhì)外延生長(zhǎng)超晶格(GaSb襯底生長(zhǎng) InAs/GaSb超晶格)及其性能表征,在超晶格周期內(nèi)部材料界面之間進(jìn)行界面控制,提高超晶格性能。
采用實(shí)驗(yàn)
2、結(jié)果與X’Pert Epitaxy軟件模擬材料外延生長(zhǎng)的圖像相對(duì)比的方法,利用分子束外延技術(shù)將選取的GaSb襯底上控制生長(zhǎng)參數(shù)生長(zhǎng)GaSb薄膜。運(yùn)用XRD測(cè)量實(shí)際生長(zhǎng)薄膜,明顯看出峰形尖銳。與模擬外延生長(zhǎng)圖像幾乎吻合,說(shuō)明外延薄膜的晶格質(zhì)量很好,從而確定了最佳的生長(zhǎng)參數(shù)。
利用已確定的分子束外延技術(shù)的最佳生長(zhǎng)參數(shù)生長(zhǎng)了周期分別為10,20,50的InAs/GaSb超晶格,測(cè)得 X射線一級(jí)衍射峰半峰寬分別為303arcsec,1
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