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文檔簡介
1、Ⅱ-Ⅵ族半導體材料,如ZnO、ZnSe、CdS、ZnTe等,它們均為直接帶隙半導體,禁帶寬度覆蓋紫外光到可見光區(qū)域,在光電探測、光伏以及發(fā)光器件方面均具有重要的應用。在納米尺度范圍內,pn結是構筑先進電子器件和光電子器件的基礎。由于自補償效應,完全采用CdS材料(禁帶寬度為2.4eV)來制備pn結很難實現。因為CdS半導體材料的p型摻雜非常困難。研究表明熱力學平衡時CdS僅存在n型導電。ZnTe(禁帶寬度為2.26eV)也是Ⅱ-Ⅵ族半導
2、體材料,它是一種p型的具有高透光率且化學性質穩(wěn)定的半導體材料。二者的結合為解決CdS單極性導電難以構筑pn結提供了新的思路。
納米pn結具有多種結構形式,其中核殼結構由于其高縱橫比尤為引人注目。迄今為止,有多種合成方法成功合成了核殼pn結,如選區(qū)金屬有機氣相外延,化學氣相沉積,水熱法和原子層沉積法等。而且這些核殼結構的pn結光電器件均展現了很好的性能,特別是在光電探測方面。但核殼結構pn結不同部分的可控摻雜,以及其光電性能的研
3、究還很匱乏。
本論文研究的主要內容是通過兩步化學氣相沉積法,分別合成Ga摻雜的CdS納米線核和Sb摻雜的ZnTe薄膜殼層,構建核殼pn結,并利用三次光刻技術制備核殼pn結光電二極管,研究其光電性能。合成的CdS∶Ga納米線為單晶結構,生長方向為[100],其吸收峰在520 nm。包裹ZnTe∶Sb多晶殼層之后吸收峰發(fā)生紅移,移動到580 nm,這顯示核殼結構的形成使其對光的吸收范圍變的更寬。由核殼pn結構建的光電二極管對638
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