X波段五位MEMS分布式移相器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微波移相器是能改變電磁波相位的器件，廣泛應用于電子通信系統(tǒng)中，是相控陣雷達、合成孔徑雷達、雷達電子對抗、衛(wèi)星通信、接收發(fā)機中的核心組件。因此高性能的移相器在這些系統(tǒng)中起著至關重要的作用。但傳統(tǒng)微波移相器存在尺寸大、功耗高的缺點，無法滿足電子通信系統(tǒng)日新月異的發(fā)展。而MEMS移相器具有高品質(zhì)因數(shù)、低插損、低功耗和高隔離度的優(yōu)點，彌補了傳統(tǒng)移相器的不足，是國內(nèi)外研究的熱點。
　　 本論文正是基于上述分析，以MEMS移相單元為主要的研

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