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文檔簡介
1、本文以醋酸銅、硝酸鋁為出發(fā)原料，異丙醇為溶劑、丙烯酸為添加劑，醋酸鎂為摻雜源，采用溶膠凝膠法在石英玻璃基片上制備了CuAlO2和CuAl1-xMgxO2透明導(dǎo)電薄膜。研究了不同熱處理氣氛、不同Al含量和不同Mg摻雜量對薄膜物相結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。所得的結(jié)論如下:
1.使用溶膠凝膠法在不同的熱處理氣氛下制備出了Cu-Al-O薄膜，用XRD、分光光度計、SEM等對樣品進行分析表征。結(jié)果表明:根據(jù)Cu-Al-O物質(zhì)相演變的過程，先
2、通O2后通N2是較為適合CuAlO2薄膜生長的熱處理氣氛，此工藝下制備出的CuAlO2透明導(dǎo)電薄膜，其電阻率可達(dá)到605Ω·cm，可見光透過率為40％。
2.使用溶膠凝膠法制備出了不同Al含量的Cu-Al-O薄膜，用XRD、分光光度計、AFM等對樣品進行分析表征。結(jié)果表明:當(dāng)Al含量較少時，所制備的薄膜中出現(xiàn)Cu2O雜相，影響了薄膜的光電性能，隨著Al含量的增加，薄膜中的Cu、Al化學(xué)計量比逐漸趨于1∶1，薄膜光電性能提高。當(dāng)
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