Y型多針孔干涉儀及其在絕對位置坐標(biāo)測量中的應(yīng)用研究.pdf

1、自 Michelson干涉儀問世以來，光學(xué)干涉測量技術(shù)得到了飛速的發(fā)展，在距離測量中得到了廣泛的應(yīng)用。絕對距離測量是一種無導(dǎo)軌測量技術(shù)，它是指不需要在兩測量點(diǎn)之間架設(shè)測量導(dǎo)軌即可測量兩點(diǎn)間距離的方法。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，涉及高精度絕對距離或空間坐標(biāo)測量的問題越來越多，傳統(tǒng)的測量技術(shù)已經(jīng)難以需要。這就促進(jìn)了對絕對距離測量技術(shù)的研究，發(fā)展了許多新的絕對距離測量方法，如白光干涉測量法、多波長干涉測量法、外差干涉測量法、激光自混合干涉法等。絕對

2、距離測量技術(shù)簡化了測量儀器的結(jié)構(gòu)和測量過程，避免了在測量時累加計數(shù)產(chǎn)生的誤差。然而這些方法大都難以直接用于三維絕對坐標(biāo)的測量。最近 Rhee等人提出了一種基于點(diǎn)衍射干涉儀測量絕對位置坐標(biāo)的方法。這種方法雖然能夠測量絕對位置坐標(biāo)，但是需要用到復(fù)雜的精密相移裝置，迭代算法計算量大，并且要至少采集三幅干涉圖樣才能完成測量，因此動態(tài)測量難以實(shí)現(xiàn)。本論文提出并研究了一種基于Y型多針孔干涉儀的絕對位置坐標(biāo)測量方法，這種方法能夠直接測量空間中待測點(diǎn)的

3、絕對位置坐標(biāo)而不需要任何相移裝置。論文主要內(nèi)容如下:
　　1.綜述了光學(xué)干涉測長技術(shù)的歷史背景及研究現(xiàn)狀。對近年來發(fā)展的幾種典型的距離測量方法進(jìn)行了系統(tǒng)歸納。重點(diǎn)介紹了多波長干涉法、外差干涉法、白光干涉法、激光自混合干涉法、點(diǎn)衍射干涉法的測量原理和特點(diǎn)。
　　2.提出了一種基于Y型多針孔抽樣板的新型多針孔干涉波前測量。該方法是讓被測量物波先通過一個 Y型多針孔板，然后再用圖像傳感器記錄物波經(jīng)過多針孔板后的夫瑯和費(fèi)衍射強(qiáng)度分布

4、，最后借助計算機(jī)圖像處理技術(shù)提取出被測物波的振幅和相位分布信息。該方法不需要任何迭代算法，節(jié)省了處理的時間，特別適用于實(shí)時波前檢測和衍射成像。論文中介紹了該方法的原理，實(shí)驗(yàn)證明了該方法的可行性，并分析了抽樣點(diǎn)數(shù)、衍射距離等因素對測量結(jié)果的影響。
　　3.提出了一種利用Y型多針孔干涉儀測量絕對位置坐標(biāo)的方法。該方法是基于Y型多針孔干涉儀測量波前的原理，通過對待測點(diǎn)源的遠(yuǎn)場衍射圖樣進(jìn)行傅里葉逆變換，并提取其中與多針孔板上測量孔相對應(yīng)點(diǎn)