鋯鈦酸鋇鈣薄膜界面優(yōu)化與介電性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、（1-x）BaZr0.2Ti0.8O3-xBa0.7Ca0.3TiO3(BZT-xBCT)無鉛壓電陶瓷材料在近幾年來已經引起了廣大學者的極大的關注，2009年報道了在其準同型相界即MPB附近具有較高的壓電性能，常溫下BZT-0.5BCT壓電陶瓷的壓電系數(shù)d33已經達到620pc/N，這種陶瓷的高壓電特性可與現(xiàn)在應用最廣泛的鉛基壓電陶瓷相媲美。由于近幾年的環(huán)保意識逐漸增強，鉛基壓電陶瓷的應用受到了較大的限制，而且隨著MEMS和集成電路領域

2、的迅速擴展，BZT-0.5BCT壓電薄膜材料的需求和研究成為了熱點。
　　本文主要采用溶膠凝膠的方法按照一定的比例制備了BZT-0.5BCT薄膜，研究發(fā)現(xiàn)，通過在界面處Pb0.8Ca0.1Ti0.975O3(PCT)種子層的引入，最終形成兩種薄膜即帶有PCT種子層的BZCT薄膜和無種子層的BZCT薄膜，通過XRD檢測對比分析，發(fā)現(xiàn)相對于BZCT薄膜，BZCT/PCT薄膜晶化的更加完全，并且表現(xiàn)出明顯的(100)織構;通過對兩種薄膜

3、電性能測試分析，發(fā)現(xiàn)種子層優(yōu)化后薄膜的鐵電、介電及壓電性能均有大幅度提高。
　　采用相同的方法制備了濃度為0.05M和0.2M的Pb0.8La0.1Ca0.1Ti0.975O3(PLCT)種子層，于此同時制備得到了BZT-0.5BCT、BZT-0.5BCT/0.05MPLCT及BZT-0.5BCT/0.20M PLCT三種薄膜。經XRD圖譜分析發(fā)現(xiàn)在晶化溫度為500℃時，BZT-0.5BCT、BZT-0.5BCT/0.05M PL

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