高精度大口徑拼接光柵裝置的綜合分析.pdf

1、衍射光柵是一種精密的分光元件，是各種光譜儀器的核心器件。目前，天文物理學以及高能激光脈沖等研究領(lǐng)域所需的光柵已達到了米量級。因此，大口徑光柵的制備十分迫切，大口徑光柵的研制也一直是國際光柵領(lǐng)域的重大課題之一。最常見的是采用多塊光柵進行拼接或者全息拼接技術(shù)獲得。要達到光柵拼接的高精度要求，就要設(shè)計出能夠進行高精度調(diào)整的拼接裝置。本文在國內(nèi)外拼接光柵已取得成果的基礎(chǔ)上，介紹了哈爾濱工業(yè)大學研制的宏/微結(jié)合驅(qū)動的光柵拼接裝置，并對該拼接裝置進

2、行了綜合分析。
　　首先，對拼接裝置進行了結(jié)構(gòu)等效，計算機構(gòu)自由度。根據(jù)結(jié)構(gòu)等效結(jié)構(gòu)建立機構(gòu)運動學逆解模型，運用MATLAB對機構(gòu)進行運動逆解仿真，實現(xiàn)了裝置運動的可視化?；谶\動學逆解求解機構(gòu)的雅克比矩陣，分析機構(gòu)運動中的奇異形位，采用實際數(shù)據(jù)計算機構(gòu)工作空間。
　　其次，以宏驅(qū)動拼接裝置為例進行了拼接裝置的誤差分析并進行誤差補償。基于運動學逆解建立誤差模型，分析各誤差源誤差分布情況，采用蒙特卡洛方法對拼接裝置進行誤差分析